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三维磁控溅射技术及装备的产业化应用

技术详情

重稀土、5G通讯及一些航空航天应用的PVD镀层具有材料昂贵、镀层厚度高、镀层结合力高等特点/要求,传统PVD技术难以达到高效、节材的产业化生产要求。自主研发的三维磁控溅射技术及装备,在烧结钕铁硼磁体重稀土镀层、5G介质滤波器超厚银镀层以及直升飞机压气片等“专精特新”应用领域均已取得重要进展。

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